МОСКВА, 26 дек — ПРАЙМ. Специалисты Института ядерной физики им. Г. И. Будкера СО РАН (Новосибирск) планируют возродить технологический накопительный комплекс (ТНК), сообщил Интерфакс директор ИЯФ академик РАН Павел Логачев.

Производственная площадка технопарка

В Минвостокразвития рассказали о новом производстве микросхем для авто

По его словам, ТНК будет востребован для разработки отечественной технологической цепочки производства микроэлектроники.

"Это будет основной инструмент, который позволит создавать, испытывать и отлаживать технологию так называемых литографов, которые делает, фактически, одна компания в мире", — заявил он.

Логачев отметил, что институт разработал установку еще на рубеже 1980-1990 годов, но ее не запустили из-за развала СССР.

Ученый пояснил, что с технической точки зрения ТНК представляет собой источник синхротронного излучения, корпус для установки, расположенный рядом с заводом "Микрон" в Зеленограде, принадлежит Курчатовскому институту.

"Мы запустим этот комплекс через три года, он будет основным элементом разработки литографа", — пояснил он и отметил, что стоимость проекта составляет примерно полмиллиона рублей.

Логачев также сообщил, что ИЯФ начал разрабатывать ускорительную часть отечественного имплантора для микроэлектроники — устройства, работа по которому ведется совместно с НИИ точного машиностроения (Зеленоград), разрабатывающим систему подготовки и перемещения кремниевых пластин.

Обе технологии являются ключевыми для функционирования микроэлектронной промышленности.